真空脂在装配完成后未充分除气，投入真空运行时持续放气。现象表现为腔体抽速缓慢，极限真空达不到工艺要求，真空压力长时间缓慢爬升，挥发组分还会污染腔内光学元件与样品表面。不同品牌型号真空脂的饱和蒸气压、可凝挥发物含量参数性能不同，超高真空工况下放气速率差异会被进一步放大。

成因：脂体内部包裹微小气泡；脂中低分子量轻质组分在低压环境下持续挥发；装配后未执行升温预除气，直接抽真空作业。

改善方案：装配完成后采用分段升温除气工艺，缓慢升温释放包裹气体；严格控制涂覆厚度，降低脂层裹气概率；可选用低饱和蒸气压规格产品。

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