在半导体设备中，真空脂主要用于高真空或超高真空环境下的密封、润滑和防泄漏，其应用非常广泛，具体如下：

1. 真空密封

用于各种真空法兰（如 CF、KF、ISO）接口处，增强密封性能。

在高真空或超高真空系统中，可以填充法兰微小缝隙，防止空气或水蒸气渗入。

常配合密封圈使用，避免因密封圈本身材料不均或表面微缺陷造成泄漏。

2. 润滑作用

对机械运动部件如 阀门、滑动门、旋转接头 提供低摩擦润滑，保证长期稳定操作。

高温或低温环境下仍能保持润滑性能，防止金属表面磨损或卡滞。

3. 防止化学腐蚀与污染

真空脂可以隔绝空气中的水分和氧气，保护金属部件不生锈。

特定型号的真空脂对半导体制造常用材料（不锈钢、铝合金、铜等）化学惰性，不会污染腔体或样品。

4. 特殊应用场景

电子束设备：在扫描电镜、光刻机等设备中，用于导轨或移动组件的润滑，减少摩擦噪音。

热真空处理设备：耐高温真空脂可在烘烤、退火等工艺中保持密封性。

旋转真空接头：如旋转阀、取样器中，真空脂可减少泄漏，同时保证旋转顺畅。