由于真空脂的类型较多，清除方法也会有所不同，像我们提供的Apiezon系列真空脂，去除残留的方法较为简单，可以使用温肥皂水或芳香烃溶液，如柠檬烯就可以去除。

下面我们说说一些常见真空脂清除密封面上的残留的方法，通常，清除的关键在于不损伤密封面材料、彻底去除脂层、避免留下污染。以下是一种安全、有效的清洁步骤，适用于大多数金属、玻璃、陶瓷等常见真空系统材料：

一、安全清除真空脂的基本步骤：

1. 使用塑料或木质刮刀初步清除

用塑料刮片、小木片、软质刮刀将大部分固态或半固态真空脂轻轻刮下；

避免用金属工具，以免划伤密封面（如金属 O 型槽、法兰面）；

对可拆部件，可先用温风稍微加热（<50°C）软化脂层，便于刮除。

2. 使用适当的有机溶剂溶解残留物

常用溶剂包括：

异丙醇（IPA）。

石油醚、己烷：较强清除力，但应注意通风；

丙酮：效果强，但不推荐用于某些塑料密封部件；

电子级清洗剂（如电子清洗喷雾）：可用于敏感部件；

将溶剂滴在无尘棉签、擦布或镜头纸上擦拭残留脂；

须在通风良好环境下操作，注意防火、防爆、防静电。

注：不同种类的真空脂所使用溶剂需根据产品规格选择。

3. 多次清洗，直至表面不再有油感

使用溶剂反复擦拭；

清洗后手触表面无油感，且无可见残留，即可认为脂层已清除；

可用干净滤纸试压，观察是否还有油迹。

4. 对于真空等级要求高的系统，推荐最终烘烤或等离子清洗

在洁净真空炉中加热驱散残余挥发物；

或采用氧等离子清洗去除有机残留（特别适用于光学、电子束系统）；

使用前可测试残余总压力是否异常，判断是否彻底清洁。

二、不同材料密封面的注意事项：

不锈钢、铝合金法兰：可用异丙醇或丙酮清洗，注意不要刮花镜面；

玻璃或石英表面：可用 IPA 或乙醇，避免用硬物刮擦；

塑料部件（如 O 型圈槽、绝缘体）：避免使用强溶剂，选用温和清洁剂；

涂层表面（如金、银、TiN）：避免使用会破坏涂层的溶剂或擦拭方式。