真空脂应用于带有电子束、紫外辐照的真空腔体内部时，高能辐射作用会改变脂体内部分子结构，随时间推移膏体逐步变硬、失去可塑性，这类问题在电子束光刻机、无掩膜光刻腔体、扫描电镜镜筒周边密封点位较为突出。使用过程中可以观察到密封点位初期密封状态稳定，经过长时间辐照累积之后，真空慢慢出现波动，拆开法兰后真空脂颜色加深，由顺滑膏状转变为干涩坚硬的块状，不再具备铺展填充能力。高能粒子与光子轰击会激发基础油分子发生自由基反应，小分子之间发生交联聚合，原有分散结构被改变，原本柔性的脂体逐步固化。不同品牌型号真空脂的基础油分子链结构、抗辐照组分配比存在明显区别，部分型号采用饱和长链烷烃体系，耐受辐照的能力更强，芳烃含量高的配方更容易在辐照下发生聚合变质。硬化后的真空脂无法跟随密封面的微小形变自适应填充缝隙，一旦腔体出现轻微振动或者温度波动，密封界面就会出现微间隙，引发漏气，硬化脂体碎屑还有脱落风险，碎屑飘入腔体内部会污染样品、光阑以及光学组件，给精密光刻与表征实验带来额外干扰。

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