真空脂在长期使用过程中会因高温、辐射、与气体或粉尘接触而出现老化现象，比如：变硬、龟裂、失去粘性、挥发物增加，导致密封性能下降。老化后的处理方式一般包括以下几方面：

1. 清除与更换

用无绒布或棉签先尽量擦除老化的真空脂。

对残留物，可用合适的有机溶剂（如己烷、庚烷、甲苯、石油醚或异丙醇，具体依真空脂型号而定）浸泡或反复擦拭去除。

对顽固沉积物，可以在不损伤设备的前提下使用塑料刮片或木质工具轻轻刮除。

完全清理后，重新涂抹新鲜真空脂，确保均匀、薄层覆盖。

2. 检查密封件

老化真空脂可能渗入密封圈（如 O 型圈）或法兰连接处，清理后要检查密封圈是否老化、开裂或变形，如有损坏需一并更换。

在金属密封面（如 CF 法兰刀口）附近残留的老化物须彻底去除，否则会影响下一次密封。

3. 设备维护

清理过程中避免让溶剂进入真空泵或电气部件。

清洁后，建议在真空腔体抽空前进行烘烤以去除残余挥发物，避免污染真空环境。

4. 预防措施

避免在高温、强辐射或高氧化环境下长期使用真空脂。

涂抹时仅在必要的接合处涂薄薄一层，不要过量。

对关键部位可定期检查、清理和更换，以延长真空系统的稳定性。

不同品牌型号的真空脂由于性能参数有所区别，在使用、清洁方面也有不同，如Apiezon真空脂，去除方式比较简单，可以使用温肥皂水或芳香烃溶液，如柠檬烯就可以去除。参数方面可以参考下方选型表，也可以咨询客服。