真空脂是一种专用于真空系统中的密封材料，主要用于增强密封效果、防止漏气和润滑运动部件。它在多种真空设备和应用中都有广泛使用，常见包括：

1. 真空泵和阀门

用于真空泵的密封圈、轴封处，防止气体泄漏；

阀门密封面或阀杆处，保证阀门的密封和灵活运动。

2. 真空腔体的密封面

连接真空腔体的法兰密封面（如KF、CF、ISO法兰）；

真空门、视窗接口等密封处，增强密封性能。

3. 扫描电子显微镜（SEM）和其他分析仪器

样品杆、探针、载物台等移动部件的润滑和密封；

保护内部真空环境，防止外界空气渗入。

4. 半导体制造设备

各种真空处理腔体和传输系统的密封；

涂覆在O形圈、金属密封件或滑动密封面。

5. 光学真空系统

激光腔体、光学平台的真空密封；

需要高洁净、低挥发性润滑的部件。

6. 科研真空设备

离子源、电子枪、质谱仪、超高真空腔体等；

保持真空系统长时间稳定密封。

7. 真空测量仪器

真空计、残余气体分析仪等密封部件。

使用真空脂的注意事项

需选用适合系统真空度和温度范围的真空脂型号；

涂抹前应保证密封面清洁无油污；

避免过量使用，防止污染真空腔体。

真空脂的种类较多，可根据需求选择，我们提供的主要为Apiezon真空脂系列，选型表如下：