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Apiezon 真空脂能用在超高真空系统吗?

更新时间  2025-07-14 13:59:55 阅读 5

Apiezon 真空脂中部分型号可以用于超高真空(UHV)系统,但需谨慎选择和正确使用。

Apiezon真空润滑脂选型表

常用于:

UHV 系统中 O 形圈的静态密封;

样品杆、插拔口、冷阱部位涂层;

扫描电镜、XPS、低温探针台等设备中。

注意使用条件:

可用于静态密封。

涂在 O 型圈或接口表面,起辅助密封作用。

温度控制

温度过高会导致挥发、污染腔体。

薄涂为宜

只需非常薄的一层即可形成真空密封;

过量使用会增加脱气风险,不利于真空度提升。

避免与表面分析样品直接接触

若用于 XPS、AES、SIMS 等表面分析设备,需避免真空脂挥发物迁移污染样品表面;

可在样品远离主腔时使用。

脱气处理

使用前如有条件,可在真空烘箱中对真空脂脱气处理;

避免因残余气体影响 UHV 真空系统启动速度。

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Apiezon 真空脂 选型