超高真空（UHV，通常指压力低于 10⁻⁶ Pa）润滑脂的使用特点主要体现在其特殊的物理化学性能上，以满足极端环境下的润滑、密封和长寿命需求。以下是其主要特点及对应的技术要求：

1. 极低蒸气压（核心特性）

蒸气压需 <10⁻⁸ Pa（或10⁻¹⁰ Torr），避免挥发污染真空系统。

挥发物会沉积在真空腔体、光学元件或敏感器件（如半导体晶圆）上，导致性能下降。

普通润滑脂（如矿物油）蒸气压过高，完全不适合UHV环境。

2. 低出气率（Outgassing）

通过 ASTM E595 测试，总质量损失（TML）<1%，挥发物冷凝量（CVCM）<0.1%。

高出气率会导致真空度难以维持，延长抽气时间。

润滑脂需经过严格脱气处理，或使用高分子量合成油（如PFPE）。

3. 宽温度稳定性

工作范围：通常需覆盖 -10℃至250℃ 

高温下需避免分解（如硅脂在>150℃时可能裂解）。

4. 化学惰性

耐腐蚀性气体（如O₂、Cl₂）、等离子体、紫外线/电离辐射。

应用场景：

半导体工艺中可能接触刻蚀气体（如氟化物）。

航天器暴露于原子氧和宇宙射线环境。

5. 抗磨损与长寿命

超高真空中缺乏氧化膜保护，金属接触面易发生冷焊 

润滑脂需形成稳定润滑膜，减少摩擦磨损 

典型寿命：PFPE润滑脂在UHV中可达数年（静态密封）至数千小时（动态部件）。

6. 材料兼容性

需测试的接触材料：

密封件（如氟橡胶、全氟醚橡胶FFKM）。

金属（不锈钢、铝合金）避免腐蚀。

塑料（如PTFE、PEEK）避免溶胀。

7. 清洁性与颗粒控制

无粉尘、纤维或金属颗粒 。

光学真空系统（如激光干涉仪）对颗粒污染极度敏感。

半导体设备需避免颗粒导致晶圆缺陷。

8. 特殊环境适应性

抗辐照：用于核设施或太空环境（如PFPE优于硅脂）。

无磁干扰：某些实验（如超导磁体）需非磁性润滑脂。

使用注意事项

涂覆方式：薄层均匀涂抹，避免过量（多余脂可能迁移污染）。

预处理：真空烘烤（如150℃/24h）减少初始出气。

维护周期：定期监测摩擦系数和真空度，及时更换。

超高真空润滑脂的选择需严格匹配具体工况，建议通过实验验证性能（如摩擦测试、出气率测试）。

超高真空润滑脂——Apiezon  PFPE501 Grease

Apiezon PFPE501 是一种高性能的全氟聚醚（PFPE）润滑脂，由英国Apiezon公司开发。它具有优异的化学惰性、热稳定性和抗氧化性，适用于极端环境，如高真空、高温（工作温度范围约-15℃至+250℃）或强腐蚀性场合。其低挥发性特点使其成为真空系统和精密仪器的理想润滑选择，同时与大多数塑料和弹性体兼容，广泛应用于航空航天、半导体制造和科研设备等领域。