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真空系统漏气用什么密封?

更新时间  2025-05-12 09:34:37 阅读 12

在真空系统中处理漏气问题时,选择合适的密封方法取决于漏点位置、真空度要求、温度范围以及介质类型等因素。以下是常见的密封解决方案:

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1. 密封材料选择

真空脂(如碳氢真空脂:Apiezon品牌 ):

适用于可拆卸的静态密封(如法兰接口、旋塞阀)。

耐温范围通常为-30℃~200℃,适合低真空(如机械泵系统)。

真空密封胶(如环氧树脂、硅橡胶):

用于填补微小裂缝或固定密封件。

需选择低放气(outgassing)型号,如Torr Seal(环氧类) 。

金属密封(无氧铜、铝、金丝垫片):

适用于超高真空(UHV,≤10⁻⁹ mbar)或高温环境。

需配合刀口法兰(Knife-edge flange)使用,通过塑性变形密封。

弹性体密封圈:

O型圈材料:

氟橡胶(FKM):耐高温(~200℃)、耐化学腐蚀。

全氟醚橡胶(FFKM):超高真空兼容,抗等离子体侵蚀。

丁腈橡胶(NBR):低成本,适用于中低真空。

需确保表面光洁度(Ra≤1.6μm)和压缩率(通常20%~30%)。

2. 动态密封(运动部件)

磁流体密封:

用于旋转轴(如分子泵轴),允许转动且泄漏率极低(10⁻¹² mbar·L/s)。

波纹管(Bellows):

解决直线运动或角度调整时的密封问题,材质为不锈钢或镀镍。

3. 特殊处理技术

氦质谱检漏:先定位漏点(如焊缝、法兰接口),再针对性密封。

高温烘烤:超高真空系统需烘烤(150~400℃)以减少材料放气。

焊接或钎焊:长久性密封,适用于金属管路或腔体裂缝(如氩弧焊、电子束焊)。

4. 常见漏点及处理

法兰接口:清洁接触面,更换O型圈,均匀拧紧螺栓(按对角顺序)。

螺纹连接:使用密封胶或聚四氟乙烯(PTFE)生料带。

观察窗或电极引入:采用金属化陶瓷封接或玻璃-金属熔封。

5. 注意事项

放气问题:避免使用普通橡胶或胶水,需选择低挥发材料。

清洁度:密封前用丙酮或酒精彻底清洁表面。

压力分级:

低真空(10³~10⁻³ mbar):O型圈+脂即可。

高真空(10⁻³~10⁻⁹ mbar):需金属密封或氟橡胶。

示例方案

小型真空腔体漏气:

用丙酮清洁漏点周围。

涂抹Torr Seal环氧胶,固化24小时。

检漏确认(如酒精喷雾法观察真空计变化)。

金属法兰泄漏:

更换为无氧铜垫片,法兰螺栓扭矩按标准(如CF法兰通常为10~15 Nm)。

根据具体场景选择合适方法,若漏点难以定位,可以联系我们15301310116(微信同号)。

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